《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》的發布標志著我國在重大技術裝備領域取得了顯著進展，為推動產業高質量發展提供了有力支撐。該目錄覆蓋了眾多領域，其中電子專用裝備作為重要組成部分，其應用范圍廣泛，涵蓋集成電路設備在內的各類電子裝備。

在集成電路設備領域，《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》明確提出了對先進工藝技術的應用要求。其中，強調使用193納米激光源進行微細加工，并且能夠將芯片尺寸縮小至小于等于65納米，這對于提高芯片性能和制造精度具有重要意義。同時，也明確了對于芯片制造過程中的關鍵材料和器件的要求，旨在提升國產芯片的技術水平和市場競爭力。

此外，目錄還提出了一些具體的實施措施，如加強研發機構與企業的合作，鼓勵企業加大研發投入，支持企業在關鍵技術上取得突破性進展；加強行業交流和人才培養，促進跨學科交叉融合，加快培養高端人才和技術人才；完善政策體系和服務平臺，提供全方位的支持和保障，以促進首臺（套）重大技術裝備的推廣應用。

總的來說，此次發布的《首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年版）》，體現了國家對推進科技創新和產業升級的決心和信心。未來，隨著更多的重大技術裝備被認定為“首臺（套）”，有望進一步推動我國制造業向中高端邁進，助力實現經濟高質量發展。